Sıvı, kritik, gazlı: Silikon plakaların kritik karbondioksit ile temizlenmesi
Silikon plaka üretiminde temizliğin büyük önemi vardır. Temizlik, üretilen tümleşik devrelerin düzgün çalışmasını ve iletkenliği sağlar. Plakalar birkaç nanometreye işlenirken birçok aşamadan ve yıkama işleminden geçer. Kritik CO2 (SCCO2) kullanılarak gerçekleştirilen gelişmiş yıkama prosesi, başta metal parçacıklardan arındırma olmak üzere, birçok avantaj sunmaktadır. Metal paçacıklardan arındırma işlemi, solventli ultrasonik banyo ile yapılan ıslak işlem yöntemiyle oldukça zordur. LEWA diyaframlı pompaların SCCO² ile yıkamadaki başarısı, yarı iletken endüstrisinde kanıtlanmıştır. Yıkama işleminin belirli bir akışı vardır: CO2, temiz odada Lewa diyaframlı pompa ile az 75 bar’a sıkıştırılır, ardından en az 35°C’ye ısıtılır. CO² bu derecenin üzerinde akışkan halden kritik aşamaya geçer. Prosesin kritik gereksinimlerinin karşılanması, sıvılaştırılmış gaz konusunda ciddi tecrübe ve uzmanlık gerektirir. LEWA GmbH bu konuda da engin bir bilgi birikimine sahiptir. LEWA ürün grubu arasında Ecoflow ve Triplex diyafram pompaları yer almaktadır – bu pompalar söz konusu uygulamaya yönelik ideal çözümü oluşturmaktadırlar. Pompaların temiz oda uygunluğu Frauenhofer Enstitüsü tarafından sertifikalandırılmıştır ve standartlara uygundur.
Tümleşik devreler gibi elektronik parçalar silicon plakalardan üretilir. Bunlar, laptop, tablet, akıllı telefon, kamera ve LCD televizyon gibi tüm elektronik aygıtların en temel parçasını oluştururlar. Plaka üretiminin prosesi karmaşıktır, 100 den fazla üretim adımı içerir ve haftalar alır. Temizlik ise farklı üretim aşamalarda gerçeleşir ve yinelenir. Eskiden temizleme işlemi için solventli/sulu ultrasonic banyo yöntemi kullanılırdı. Bu yöntem fazlaca su ve kimyasal katkı maddesi tüketimine sebep olurdu. Ayrıca her zaman başarılı temizleme ile neticelenmezdi.
LEWA, bu uygulamaya yönelik optimal çözüm oluşturan, PTFE sandviç diyaframlı temiz oda uyumlu dozajlama pompaları sunmaktadır. Uygulamada güvenilirlik, temizleme ve dozajlama hassasiyeti elzem bir öneme sahiptir. Özel olarak geliştirilen ve hasar durumunda uyarı veren diyaframlar proses güvenliğini artırmaktadır. Diyaframlı pompa, temiz kabinde kuruludur ve gereken temizlik özelliklerini sağlamak için CO2 ‘i en az 75 bar’a sıkıştırmaktadır ve akabinde CO² 35°C ‘ye yükseltilir, basınç odasına enjekte edilir. Bu aşamada ise CO² super kritik olarak adlandırılan SCCO2 aşamasına gelir- gaz ve sıvı arası durumu. Bu durumda polar olmayan reçine ve partikül gibi katışıklara karşı düşük viskoziteli mükemmel bir solvent elde edilir. Temizlik sonrası plaka saf CO2 ile yıkanır ve kalıntı söz konusu olmaz. Akabinde basınç düşürülür ve CO2 de uçunum meydana gelir. Gaz fazına geçiş aşamasında tüm parçalar tamamiyle kurur. Kuruduklarında tümü solventten arınmıştır. SCCO2 ile temizleme işlemi aynı zamanda çevre dostudur ve ekonomik açıdan da avantajlıdır.
Metrans Makina Türkiye’deki tek LEWA temsilciliği ve servis bakım merkezidir.
